[发明专利]一种金属氧化物薄膜晶体管结构在审
| 申请号： | 202211082889.3 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN115360243A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 陈宇怀 | 申请（专利权）人： | 华映科技（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423 |
| 代理公司： | 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 | 代理人： | 林云娇 |
| 地址： | 350000 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种金属氧化物薄膜晶体管结构，包括基板，基板之上设有栅极，栅极之上设置有栅极绝缘层，栅极绝缘层之上设置有有源层，所述有源层之上设置有源漏极；所述栅极上设置有至少一组金属条列组，所述金属条列组中部斜向设置有多个第一金属条，各所述第一金属条呈条列平行并排设置，且各所述第一金属条之间设置有第一镂空部；所述有源层的形状与所述栅极形状相一致；所述有源层与所述栅极在基板垂直方向投影面重合，且所述有源层边缘内缩于所述栅极的边缘；所述源漏极的源极和漏极呈交错式设置在所述有源层上。本发明可以分散和抵消薄膜间结构应力，使得器件具有较高稳定度，同时该设计具备更好的抗弯折以及抗拉伸能力，可以应用于柔性基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 薄膜晶体管 结构 | ||
【主权项】：
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