[发明专利]粉体表面类金刚石沉积的悬臂梁式振动等离子体流化床

摘要

公开了一种粉体表面类金刚石沉积的悬臂梁式振动等离子体流化床，粉体表面类金刚石沉积的悬臂梁式振动等离子体流化床中，等离子体反应腔布置成悬臂梁结构，所述等离子体反应腔一端连通进气管，另一端连通出气管；连杆电机驱动连接所述等离子体反应腔且使得所述等离子体反应腔往复振动；气体分布板设于所述等离子体反应腔中，气体分布板设有多个用于均匀导入来自进气管道的气体的通孔；外置电极设于所述等离子体反应腔侧壁以在其中放电产生等离子体，并调节所述等离子体的离子能量；电感线圈套接于等离子体反应腔外部以调节所述等离子体的密度。