[发明专利]一种激光陀螺电极及制造方法在审
| 申请号: | 202211068625.2 | 申请日: | 2022-09-02 |
| 公开(公告)号: | CN115479596A | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
| 发明(设计)人: | 王立斌 | 申请(专利权)人: | 天津集智航宇科技有限公司 |
| 主分类号: | G01C19/66 | 分类号: | G01C19/66;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司: | 中国和平利用军工技术协会专利中心 11215 | 代理人: | 刘光德 |
| 地址: | 300451 天津市滨海新区塘沽*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | 本发明提出一种低应力长寿命激光陀螺电极及制造方法,涉及激光陀螺制造技术领域,该电极包括阴极和阳极,电极基体为圆形帽状,电极基体的材料为单一耐高温材料;电极基体下端有向外伸出的折边,折边用作密封面;并在电极的内表面和密封面镀覆纯净金属材料镀层,镀层厚度为预定厚度。电极基体的材料包括:微晶玻璃、石英玻璃或者低膨胀超因瓦合金。采用磁控离子溅射镀膜机对电极镀膜;纯净金属材料镀层为高纯铝或高纯铍,镀层厚度:5~10um。密封面与激光陀螺的接合面上粘接高纯铟密封环。本发明电极膨胀系数很低,热应力小,能够确保仪表高低温下性能的高度稳定和数十年的气密寿命。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 激光 陀螺 电极 制造 方法 | ||
【主权项】:
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