[发明专利]一种适用于划片机的可调式喷水罩装置及划片机在审
| 申请号： | 202211068615.9 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115338994A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘炳先;于光明;金道成;孙志超 | 申请（专利权）人： | 江苏京创先进电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/02 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 顾祥安 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于划片机的可调式喷水罩装置及划片机，其中一种适用于划片机的可调式喷水罩装置，包括设置在刀片径向一侧用于向刀刃喷液的喷嘴组件，还包括等距离地设置在所述刀片轴向两侧用于冲刷产品表面切割区域的辅助喷淋块，所述辅助喷淋块内部设置流道，所述流道底部设置有出液口，所述辅助喷淋块的底部还设置有一段用于引导所述流道的出液方向的弧面，所述弧面的凹面朝向所述刀片，且所述出液口与所述弧面相对。本方案提高了刀片的冷却效率，同时能够对晶圆的表面进行全方位地、精准地清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 划片 调式 喷水 装置 | ||
【主权项】：
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