[发明专利]一种高效、高精度红外石英加热器在审
| 申请号： | 202211055191.2 | 申请日： | 2022-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN115440626A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 傅新;陈虎;胡亮;刘伟庭;苏芮 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;G01K7/18;H01K1/46;H01K1/58 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种高效、高精度温控红外石英加热器。包括卤钨灯、吹扫组件、石英加热组件、温度传感器和控制器，石英加热组件的两端各安装有吹扫组件，石英加热组件的内部安装有卤钨灯，卤钨灯的两端分别与石英加热组件两端的吹扫组件相连，石英加热组件内设置有加热液，温度传感器固定安装在石英加热组件的加热液出口处，温度传感器和卤钨灯均与控制器相连。与现有技术相比，本发明可以精确测量加热液温度，提高加热效率并且通过吹扫组件延长卤钨灯寿命，节约更换灯管的经济成本和时间成本。化学品液体润湿表面均为半导体级石英玻璃，耐腐蚀能力强，能够满足半导体湿法处理领域所需化学品的高洁净度、快速响应等加热需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 高精度 红外 石英 加热器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江大学，未经浙江大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211055191.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
