[发明专利]一种高效、高精度红外石英加热器在审
| 申请号: | 202211055191.2 | 申请日: | 2022-08-30 |
| 公开(公告)号: | CN115440626A | 公开(公告)日: | 2022-12-06 |
| 发明(设计)人: | 傅新;陈虎;胡亮;刘伟庭;苏芮 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;G01K7/18;H01K1/46;H01K1/58 |
| 代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
| 地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 高效 高精度 红外 石英 加热器 | ||
1.一种高效、高精度温控红外石英加热器,其特征在于,包括卤钨灯(110)、吹扫组件(120)、石英加热组件(130)、温度传感器(140)和控制器(150),石英加热组件(130)的两端各安装有吹扫组件(120),石英加热组件(130)的内部安装有卤钨灯(110),卤钨灯(110)的两端分别与石英加热组件(130)两端的吹扫组件(120)相连,石英加热组件(130)内设置有加热液,温度传感器(140)固定安装在石英加热组件(130)的加热液出口(131)处,温度传感器(140)和卤钨灯(110)均与控制器(150)相连。
2.根据权利要求1所述的一种高效、高精度温控红外石英加热器,其特征在于,所述石英加热组件(130)包括硅酸铝保温层(133)、选择性吸收涂层(134)、石英外管(135)、卤钨灯套管(136)和传感器套管(137);
石英外管(135)的两端各安装有吹扫组件(120),石英外管(135)内设置有多个卤钨灯套管(136),多个卤钨灯套管(136)沿圆周间隔分布,各个卤钨灯套管(136)中设置有卤钨灯(110),石英外管(135)外侧面涂覆有选择性吸收涂层(134),涂覆有涂层的石英外管(135)外还包覆有硅酸铝保温层(133);石英外管(135)设置有加热液出口(131)和加热液入口(132),靠近加热液出口(131)处的石英外管(135)设置有传感器套管(137),传感器套管(137)中安装温度传感器(140)。
3.根据权利要求1所述的一种高效、高精度温控红外石英加热器,其特征在于,所述卤钨灯(110)包括钨丝(111)、卤钨灯管(112)、灯座(113)和电源线(114);钨丝(111)设置在卤钨灯管(112)中,钨丝(111)和卤钨灯管(112)均设置在石英加热组件(130)中,卤钨灯管(112)的两端均安装有灯座(113),两端的灯座(113)与吹扫组件(120)相连,两端的灯座(113)分别与对应的电源线(114)相连。
4.根据权利要求1所述的一种高效、高精度温控红外石英加热器,其特征在于,所述吹扫组件(120)包括盖板(121)、吹扫底座(122)、支架(123)、外固定螺钉(124)、复位弹簧(125)、调节螺钉(126)和内固定螺钉(127);
吹扫底座(122)的底面与石英加热组件(130)的端面之间固定连接,吹扫底座(122)的顶面与盖板(121)固定连接,吹扫底座(122)和盖板(121)内形成吹扫腔室,盖板(121)中部开设有进风口,进风口与吹扫腔室连通;吹扫底座(122)的底面开设有传感器孔和多个灯孔,温度传感器(140)从传感器孔伸入石英加热组件(130)内,卤钨灯(110)从灯孔伸入石英加热组件(130)内;
吹扫底座(122)内的上表面设置有多个沿圆周等间隔布置的支架(123),每个支架(123)端面上靠近相邻支架(123)一侧均安装有内固定螺钉(127),多个支架(123)首尾接触后形成圆环,此时,多个支架(123)上的内固定螺钉(127)沿圆周等间隔布置;吹扫底座(122)内的上表面还安装有多个沿圆周等间隔布置的外固定螺钉(124),各个内固定螺钉(127)与对应的外固定螺钉(124)之间通过对应的复位弹簧(125)相连,每个支架(123)通过对应的内固定螺钉(127)、外固定螺钉(124)以及复位弹簧(125)进行限位,吹扫底座(122)的圆周侧面开有多个沿圆周等间隔布置的螺钉孔,每个调节螺钉(126)设置在每个支架(123)对应的两个外固定螺钉(124)之间,每个调节螺钉(126)的一端穿过对应的螺钉孔后与对应的支架(123)的外圆周侧面中部接触,相邻两个支架(123)之间设置有卤钨灯(110)的一端,相邻两个支架(123)的端部紧密接触后使得卤钨灯(110)的一端固定,每个调节螺钉(126)旋进吹扫底座(122),使得对应支架(123)沿调节螺钉(126)轴向向内移动,从而减小相邻两个支架(123)之间的间距,进而实现卤钨灯(110)固定。
5.根据权利要求4所述的一种高效、高精度温控红外石英加热器,其特征在于,所述内固定螺钉(127)和外固定螺钉(124)的数量相同且位置一一对应。
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