[发明专利]一种TOPCon电池及其制备方法

摘要

本发明涉及太阳能电池制造领域，特别是公开了一种TOPCon电池及其制备方法通过对硅基体的正面氧化，得到正面氧化层；在所述硅基体的背面依次设置背面氧化层及多晶硅层；对所述正面氧化层的SE区进行激光开槽，得到扩散前置物，所述扩散前置物正面的凹槽贯穿所述正面氧化层；对所述扩散前置物的正面进行硼扩散，得到电池预制物；对所述电池预制物进行背面磷扩散、表面钝化及设置电极之后，得到所述TOPCon电池。本发明生产TOPCon电池仅需要一次扩散不仅简化了工艺流程，还大大延长了反应炉的使用寿命，同时降低了生产过程中对硼扩散药剂的需求，进而大大降低了生产成本。