[发明专利]菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法在审
| 申请号： | 202210999903.X | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN115727755A | 公开（公告）日： | 2023-03-03 |
| 发明（设计）人： | 松浦心平 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B9/02015 | 分类号： | G01B9/02015 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法。本发明涉及干涉度量领域，特别是涉及用于改善干涉图的对比度的菲索干涉仪。菲索干涉仪包括光源、参考面、位于菲索干涉仪的支撑件上的测试面以及摄像系统。菲索干涉仪利用偏振参考面来改善干涉图的对比度。本发明还涉及本发明的菲索干涉仪的使用方法，用于改善由菲索干涉仪获得的干涉图的对比度。 | ||
| 搜索关键词： | 干涉仪 确定 测试 特性 改善 干涉 对比度 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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