[发明专利]菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法

权利要求书

1.一种菲索干涉仪，其包括用于发射沿着光路行进的光束的光源，

其中，所述光路的第一部分在所述光源和位于所述菲索干涉仪的支撑件上的反射测试面之间延伸，

其中，参考面被布置在所述光源和所述测试面所用的支撑件之间的所述光路的第一部分中，

其中，所述光路的第二部分从所述测试面延伸到所述参考面，然后延伸到用于测量从所述光路的第二部分入射的光的所述菲索干涉仪的摄像系统，

其中，所述摄像系统被配置为用于测量通过使参考光束和测试光束干涉而生成的干涉图，其特征在于，所述参考面是偏振部分反射参考面，使得由所述参考面通过由所述光源发射并沿着所述光路的第一部分入射的光束的部分反射和偏振而形成所述参考光束，所述参考光束由所述参考面沿着所述光路的第二部分朝向所述摄像系统反射，

其中，所述参考光束具有第一偏振角，所述测试光束是通过使沿着所述光路的第一部分入射的光束沿着所述光路的第一部分穿过所述参考面并朝向所述测试面而形成的，所述测试光束被所述参考面偏振，并且所述测试光束被所述测试面朝向所述参考面反射，然后沿着所述光路的第二部分反射到所述摄像系统，

其中，所述测试光束具有第二偏振角，其中，所述第一偏振角和所述第二偏振角不同，并且所述菲索干涉仪还包括第一偏振器，所述第一偏振器在所述光路的第二部分中被放置在所述参考面和所述摄像系统之间，

其中，所述第一偏振器被配置为允许第三偏振角的光穿过并朝向所述摄像系统。

2.根据权利要求1所述的菲索干涉仪，其中，所述第一偏振器是第一可变角度偏振器，使得所述第三偏振角是可变的第三偏振角。

3.根据权利要求1所述的菲索干涉仪，还包括第二偏振器，所述第二偏振器在所述光路的第一部分中被设置在所述光源和所述参考面之间，其中，所述第二偏振器是被配置为使在所述光源和所述参考面之间的所述光路的第一部分中行进的光偏振的第二可变角度偏振器，其中，如此偏振的光具有可变的第四偏振角。

4.根据权利要求2或3所述的菲索干涉仪，其中，所述第一可变角度偏振器和/或所述第二可变角度偏振器是可变角度半波板或可变角度二向色偏振器。

5.根据权利要求1所述的菲索干涉仪，其中，所述摄像系统还被配置为测量通过使所述参考光束和所述测试光束干涉而生成的干涉图的对比度。

6.根据权利要求1所述的菲索干涉仪，其中，偏振参考面是反射偏振器，其中，所述偏振参考面是线栅偏振器。

7.根据权利要求1所述的菲索干涉仪，其中，所述光源被配置为用于发射单色光，其中，所述光源是单色激光器。

8.根据权利要求1所述的菲索干涉仪，其中，所述参考光束和所述测试光束具有正交偏振。

9.一种用于确定测试面的特性的方法，其中，使用根据权利要求1所述的菲索干涉仪。

10.一种用于改善菲索干涉仪中的干涉图的对比度的方法，其中，使用根据权利要求2所述的菲索干涉仪，其中，所述方法包括：

用所述光源照射所述参考面和所述测试面；

确定由所述摄像系统测量的干涉图的对比度；

改变所述第三偏振角以改变所述干涉图的对比度；以及

通过改变所述第三偏振角来改善所述干涉图的对比度。

11.一种用于改善菲索干涉仪中的干涉图的对比度的方法，其中，使用根据权利要求3所述的菲索干涉仪，其中，所述方法包括：

用所述光源照射所述参考面和所述测试面；

确定由所述摄像系统测量的干涉图的对比度；

改变所述第四偏振角以改变所述干涉图的对比度；以及

通过改变所述第四偏振角来改善所述干涉图的对比度。