[发明专利]一种CVD生产制备设备

摘要

本发明公开了一种CVD生产制备设备，涉及CVD生产制备领域，包括处理箱固定安装在反应箱上，其中一个装置箱上固定安装有密封箱，反应装置固定安装在反应箱内部，且反应装置与外部控制装置连接，抽风机固定安装在反应箱上，旋转扇通过旋转齿轮使直齿条上的连接杆在第一弹簧的作用下，使得压气板在处理箱内部进行上下循环移动压气，且旋转齿轮通过旋转扇对加速气体和吸收液的混合吸收，推压头通过第二推移块架使第一旋转杆带动第一推移杆上推移圆头将工件从放置基体上右侧翻转到左侧，推压头通过第一推移块架使第二旋转杆带动第二推移杆上推移圆头将工件从放置基体上左侧翻转到右侧，实现工件在放置基体上的左右翻转。