[发明专利]一种晶圆键合胶、制备方法及其使用方法在审
| 申请号： | 202210969107.1 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN115322691A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 高满;罗海强;虞锦洪;陈韬;苏光临;李茂华 | 申请（专利权）人： | 广西珀源新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09J4/06 | 分类号： | C09J4/06;C09J4/02;C09J11/06;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 532100 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体领域，更具体地，本发明涉及一种晶圆键合胶、制备方法及其使用方法。晶圆键合胶，按重量份计，制备原料包括40‑60份二官能度丙烯酸酯单体、35‑65份聚氨酯树脂、0.1‑2份促进剂、0.1‑2份稳定剂。相对于现有技术减薄工艺键合胶采用光固化或者热固化方式，存在溢胶去除困难的问题，使用本申请中键合胶，采用室温固化方式，清洗掉边缘未固化键合胶，不仅固化方式上节约能源，后期溢胶问题也得到有效地解决。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆键合胶 制备 方法 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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