[发明专利]一种晶圆键合胶、制备方法及其使用方法

权利要求书

1.一种晶圆键合胶，其特征在于，按重量份计，制备原料包括40-60份二官能度丙烯酸酯单体、35-65份聚氨酯树脂、0.1-2份促进剂、0.1-2份稳定剂、0.5-5份引发剂。

2.根据权利要求1所述晶圆键合胶，其特征在于，所述二官能度丙烯酸酯单体选自二乙二醇二丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、二缩三丙二醇二丙烯酸酯中一种或多种。

3.根据权利要求2所述晶圆键合胶，其特征在于，所述促进剂选自N,N-二甲基对甲苯胺、四甲基硫脲、N,N-二羟乙基对甲苯胺、N,N-二乙基对甲苯胺中一种或多种。

4.根据权利要求1-3任一项所述晶圆键合胶，其特征在于，所述稳定剂为受阻酚型稳定剂。

5.根据权利要求4所述晶圆键合胶，其特征在于，所述引发剂选自有机过氧化物引发剂、无机过氧化物引发剂、偶氮类引发剂中一种或多种。

6.根据权利要求5所述晶圆键合胶，其特征在于，所述有机过氧化物引发剂选自过氧化氢异丙苯、过氧化苯甲酰、过氧化苯甲酸叔丁酯、过氧化二碳酸二异丙酯中一种或多种。

7.根据权利要求1-3任一项所述晶圆键合胶，其特征在于，所述聚氨酯牌号为PS0903-1。

8.一种根据权利要求1-7任一项所述晶圆键合胶的制备方法，其特征在于，包括下面步骤：

(1)将二官能度丙烯酸酯单体、促进剂和稳定剂混合，搅拌；

(2)升温至30-50℃，加入聚氨酯树脂，搅拌；

(3)降温，加入引发剂；

(4)充分混合后抽真空，即得。

9.根据权利要求8所述晶圆键合胶的制备方法，其特征在于，包括下面步骤：

(1)将二官能度丙烯酸酯单体、促进剂和稳定剂混合，搅拌30min；

(2)升温至40℃，加入聚氨酯树脂，搅拌45min；

(3)降温至室温，加入引发剂；

(4)充分混合后抽真空30min，即得。

10.一种根据权利要求要求1-7任一项所述晶圆键合胶的使用方法，其特征在于，包括：将晶圆键合胶旋涂到晶圆上，在真空腔中与有激光释放层的玻璃片相吻合，晶圆和玻璃载片间键合胶无氧引发交联固化后，由于玻璃载片重力压出来边缘胶水与氧气接触未固化，通过自动化清洗流程冲洗，开始进入背面减薄流程，完成晶圆背部制程后，玻璃载片和粘有键合胶的晶圆分离，通过胶带把晶圆上的键合胶剥离下来。