[发明专利]一种显影液及其应用在审
| 申请号： | 202210967040.8 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115981117A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 唐邦文;苏晓明 | 申请（专利权）人： | 武汉梵佳鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区关东园路*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及G03F7，更具体地，本发明涉及一种显影液及其应用。显影液的原料包括有机碱、无机盐、非离子表面活性剂和水。本发明所提供的显影液显影时间快，显影效果好，不伤产品底材，不影响产品图形区域，环保、易于处理。本发明提供的显影液尤其适用于基于玻璃、金属、硅片、半导体、金属传感器、金属薄膜电晶体、Metal OLED、Metal LCD等工件的光刻胶的显影处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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