[发明专利]一种显影液及其应用在审
| 申请号： | 202210967040.8 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN115981117A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 唐邦文;苏晓明 | 申请（专利权）人： | 武汉梵佳鑫科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区关东园路*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 及其 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种显影液，其特征在于，所述显影液的原料包括有机碱、无机盐、非离子表面活性剂和水。
2.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述有机碱为季铵碱。
3.根据权利要求2所述的显影液，其特征在于，所述季铵碱选自四甲基氢氧化铵、2-羟基-N,N,N-三甲基乙铵、甲基三乙基氢氧化铵的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的显影液，其特征在于，所述无机盐选自碳酸钠、硼酸钾、碳酸钾、硅酸钠的一种或多种。
5.根据权利要求4所述的显影液，其特征在于，所述无机盐包括碳酸钠和硼酸钾，无机盐中，碳酸钠和硼酸钾的重量比为(0.05-0.2)：(0.2-0.5)。
6.根据权利要求5所述的显影液，其特征在于，所述碳酸钠为轻质碳酸钠和/或重质碳酸钠。
7.根据权利要求1-6任一项所述的显影液，其特征在于，所述非离子表面活性剂包括酰胺类非离子表面活性剂和醚类非离子表面活性剂。
8.根据权利要求7所述的显影液，其特征在于，所述酰胺类非离子表面活性剂的胺值为16-18.5mgKOH/g。
9.根据权利要求8所述的显影液，其特征在于，所述醚类非离子表面活性剂的HLB值为10-20。
10.一种根据权利要求1-9任一项所述的显影液的应用，其特征在于，所述显影液应用于半导体光刻胶的显影处理。
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