[发明专利]一种洁净环境用晶圆传输机器人在审
| 申请号： | 202210954414.2 | 申请日： | 2022-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN115157227A | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 邢莹;王超;李松阳 | 申请（专利权）人： | 三河建华高科有限责任公司 |
| 主分类号： | B25J9/04 | 分类号： | B25J9/04;B25J15/06 |
| 代理公司： | 北京精翰专利代理有限公司 11921 | 代理人： | 胡浩 |
| 地址： | 065202 河北省廊坊市三河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种洁净环境用晶圆传输机器人，包括支撑底座，所述支撑底座的上表面转动连接有转动座，所述转动座的输出端安装有机械臂模块，所述机械臂模块的输出端安装有固定架和固定环，所述固定架的底部固定安装有吸附罩，所述吸附罩的底部滑动连接有底部滑板，所述固定环的底部固定安装有固定板，所述固定板的内底部固定安装有电动推杆。本发明所述的一种洁净环境用晶圆传输机器人，电动推杆将底部连接板推出至底部滑板的下方，使折叠网兜展开平铺在底部滑板的正下方，底部滑板上吸附的晶圆在传输过程中掉落时，下方的折叠网兜对掉落的晶圆进行接住，以避免负压气泵吸附力度不够导致吸附的晶圆在传输过程中掉落地面损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 洁净 环境 用晶圆 传输 机器人 | ||
【主权项】：
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