[发明专利]一种新型的氮化镓镍氮空位色心及其制备方法

摘要

本发明公开了一种新型的氮化镓镍氮空位色心及其制备方法，主要解决现有技术中色心制备成本高、光学激发能高、应用受限的问题。方案包括：在氮化镓晶格中，利用镍原子取代一个镓原子和该镓原子最近邻的氮空位，原子排列呈现C3v对称，且C3v对称轴穿过镍原子和氮空位的中心，并与三个间距相等的镓原子所在平面相垂直；其制备方法是首先采用金属有机化学气相沉积法生长立方相氮化镓薄膜，然后对其进行离子注入，掺杂特定种类的镍离子并经高温退火修复晶格损伤后，通过电子辐照产生大量单个空位，随后再快速退火。本发明能够有效降低操作色心需要的光学激发能，减少色心制备成本，可广泛应用于测量、通信、仿真、高性能计算等领域。