[发明专利]一种用于TopCon电池的PECVD设备

摘要

本发明公开了一种用于TopCon电池的PECVD设备，涉及太阳能电池生产设备技术领域。该设备的机体上设有安装座，安装座内形成有若干个用于配合晶片托架设置的安装孔，晶片托架上设有若干根与安装孔配合设置的安装杆，安装杆上开设有若干个等距设置的安装槽，安装座内滑移连接有固定杆，固定杆与安装槽相互适配，安装座内形成有活动腔，活动腔内滑移设有驱动件，在晶片托架受损需要更换时，或者晶片在晶片托架上冷却静置时，可以通过连接组件将晶片托架从设备上卸下，对晶片托架进行更换；更换后的晶片组件能够继续使用投入生产，则无需在晶片生产完成后停机，保证了晶片生产的连续性，另外晶片托架受损时也能够快速将其更换，提高了生产效率。