[发明专利]一种新型精密混合集成电路的加工方法在审

专利信息
申请号: 202210930366.3 申请日: 2022-08-03
公开(公告)号: CN115334751A 公开(公告)日: 2022-11-11
发明(设计)人: 宋立峰 申请(专利权)人: 山东中为电子科技有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00;H05K3/18;H05K3/42;H05K1/09
代理公司: 济南舜源专利事务所有限公司 37205 代理人: 杨彬
地址: 274700 山东省菏*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种新型精密混合集成电路的加工方法,涉及精密混合集成电路技术领域,解决了混合集成电路加工精度低、性能不稳定和设计空间结构有限制的问题,包括激光打孔、印刷浆料、浆料烧结、磁控溅射、整版电镀、电路加工、AOI检查、防焊油墨加工、表面处理加工、激光切割加工和真空包装工序;解决线路精度问题,可以将电路线宽和间距做到35μm以内;用电镀铜取代银浆做电极,控制了电迁移性问题,保证了电信号传输的稳定性,延长了产品使用寿命;微孔直径0.08mm能实现精密填孔,大槽孔金属化能完美实现包覆,而且金属层更均匀和完整。
搜索关键词: 一种 新型 精密 混合 集成电路 加工 方法
【主权项】:
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