[发明专利]一种滤波器的制备方法有效
| 申请号： | 202210924436.4 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115001429B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 缪建民;张金姣;王志宏 | 申请（专利权）人： | 迈感微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 严慧 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滤波器的制备方法。滤波器的制备方法包括：提供第一衬底和第二衬底；在第一衬底的表面形成单晶压电层；在单晶压电层背离第一衬底的表面形成第一电极；将第一电极背离单晶压电层的表面与第二衬底键合；去除第一衬底；在单晶压电层背离第一电极的表面形成第二电极。本发明的技术方案实现了用单晶压电层制备滤波器，达到了提高滤波器信号转换和信号传输的性能的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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