[发明专利]涡轮分子帮浦及其一体成型式转子元件在审
| 申请号： | 202210921514.5 | 申请日： | 2022-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN115929662A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 徐国勋;戴伟城 | 申请（专利权）人： | 致扬科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/64 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 郑小粤 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种一体成型式转子元件，该一体成型式转子元件包含转子座以及多个转子叶片。转子座的顶部上未具有凹陷，多个转子叶片连接于转子座且呈间隔排列。本发明所提供的一体成型式转子元件，因转子座的顶部上并无任何外露的凹陷形成，于是可防止半导体制程中的制程物堆积，避免造成真空腔体内的污染及涡轮分子帮浦产生问题。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 及其 一体 成型 转子 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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