[发明专利]一种立式氧化炉的硅质保温桶在审
| 申请号： | 202210909334.5 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115111907A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 范明明;祝建敏;陈荣贵;郑小松 | 申请（专利权）人： | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B1/10 | 分类号： | F27B1/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 杭州信与义专利代理有限公司 33450 | 代理人： | 蒋亚兵 |
| 地址： | 310053 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种立式氧化炉的硅质保温桶，包括底座、顶座以及至少三个垂直安装在底座和顶座之间的沟棒，底座和顶座之间设有若干个鳍片，沟棒上设有若干组沿着保温桶高度方向设置的容纳槽，其中，两个沟棒之间设有供鳍片插入容纳槽的开口，至少一个沟棒上设有将若干个容纳槽相连通的排水槽，底座上设有用于安装带有排水槽的沟棒，承载件上设有接收水珠的聚水槽，聚水槽与外界连通设有排水管，通过开口将鳍片插接至容纳槽内，便于鳍片的安装，利用沟棒上的排水槽将鳍片上凝结的水珠引流至承载件的聚水槽中，然后通过排水管将水向外排出，防止水珠穿过底座以及工艺门与元器件接触，进而造成元器件的损坏，实现了对元器件的保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 氧化 质保 | ||
【主权项】：
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