[发明专利]一种立式氧化炉的硅质保温桶在审
申请号: | 202210909334.5 | 申请日: | 2022-07-29 |
公开(公告)号: | CN115111907A | 公开(公告)日: | 2022-09-27 |
发明(设计)人: | 范明明;祝建敏;陈荣贵;郑小松 | 申请(专利权)人: | 杭州盾源聚芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | F27B1/10 | 分类号: | F27B1/10;H01L21/67 |
代理公司: | 杭州信与义专利代理有限公司 33450 | 代理人: | 蒋亚兵 |
地址: | 310053 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 立式 氧化 质保 | ||
1.一种立式氧化炉的硅质保温桶,包括底座(1)、顶座(2)以及至少三个垂直安装在所述底座(1)和顶座(2)之间的沟棒,所述底座(1)和顶座(2)之间设有若干个鳍片(6),其特征在于:所述沟棒上设有若干组沿着保温桶高度方向设置的容纳槽,其中,两个所述沟棒之间设有供所述鳍片(6)插入所述容纳槽的开口,至少一个所述沟棒上设有将若干个容纳槽相连通的排水槽(42),所述底座(1)上至少设有一个承载件(3),所述承载件(3)用于安装带有所述排水槽(42)的沟棒,所述承载件(3)上设有用于接收水珠的聚水槽(31),所述聚水槽(31)与外界连通设有排水管(9)。
2.根据权利要求1所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述容纳槽倾斜设置且与所述底座(1)之间夹角在5°-20°之间,所述排水槽(42)位于容纳槽最低位置的一侧沟棒上。
3.根据权利要求2所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述容纳槽中至少设有两个竖直向上延伸的限位柱(7),所述限位柱(7)与所述鳍片(6)的外缘相抵使所述鳍片(6)与所述容纳槽的侧壁预留一间隙。
4.根据权利要求1所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述承载件(3)包括向下凹陷的安装槽(32),所述安装槽(32)的底壁高于所述聚水槽(31)的底壁,所述安装槽(32)与所述聚水槽(31)之间开设有供水排出的泄水口(33)。
5.根据权利要求4所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述底座(1)上设有用于放置所述承载件(3)的收纳槽(11),所述聚水槽(31)的底壁设有若干个泄水孔(34),所述收纳槽(11)的底壁设有向下贯穿的排水口(13),所述排水管(9)安装于所述排水口(13)内。
6.根据权利要求1所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述底座(1)的底部安装有插接在立式炉上的第一顶柱(10)。
7.根据权利要求1所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述底座(1)上设有第一气孔(14),所述顶座(2)上设有第二气孔(21),所述第一气孔(14)以及所述第二气孔(21)用于保温筒的气流循环。
8.根据权利要求1所述的一种立式氧化炉的硅质保温桶,其特征在于:所述底座(1)、顶座(2)、承载件(3)、沟棒以及鳍片(6)的材料均为硅质材料。
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