[发明专利]一种输出带状光斑的半导体激光列阵及其制备方法在审
| 申请号： | 202210895544.3 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN115149401A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 贾鹏;梁磊;陈泳屹;秦莉;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/40 | 分类号： | H01S5/40;H01S5/00;H01S5/026;H01S5/10 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 郭婷 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明实施例中的输出带状光斑的半导体激光列阵，解决半导体激光列阵的片上集成光束整形问题。通过采用基于片上集成慢轴准直镜和高填充因子单模波导作为列阵的光束整形和功率放大元件，在大电流工作状态下保证列阵各激光单元发射光束的慢轴发散角经过准直后，实现慢轴发散角压缩，同时保留快轴发散角不变，获得线状光斑输出，同时利用单模波导列阵的密集排布，沿慢轴方面将各单元的线状光斑进行空间叠加，形成高功率密度，能量分布均匀的带状光斑。相应地，制备方法具有全表面图形制备，工艺简单，结构紧凑的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输出 带状 光斑 半导体 激光 列阵 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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