[发明专利]一种近红外光的四象限探测器及其制备方法在审
申请号: | 202210890502.0 | 申请日: | 2022-07-27 |
公开(公告)号: | CN115050769A | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 胡莉;席锋;秦华锋 | 申请(专利权)人: | 重庆金融科技研究院 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 重庆渝之知识产权代理有限公司 50249 | 代理人: | 郑小龙 |
地址: | 401329 重庆市九龙坡区*** | 国省代码: | 重庆;50 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明适用于光电探测技术领域,提供了一种近红外光的四象限探测器及其制备方法,近红外光的四象限探测器包括:衬底;四个探测单元,四个探测单元呈中心对称设置在衬底的正面上,探测单元包括依次层叠设置的金属反射层、绝缘介质层、复合结构层,复合结构层包括石墨烯层和银微结构;探测单元还包括输出电极,输出电极设置在石墨烯层上;通过银微结构吸收入射光响应生成光生载流子,并利用石墨烯优良的导电性能传输光生载流子,减小了载流子传输到电极的渡越时间,提高载流子的收集效率,从而实现增大输出信号光电流的目的,进而解决了近红外光的光电响应弱所导致探测器输出光电流信号小的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 红外光 象限 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的