[发明专利]铁电电容器及其制造方法有效
申请号: | 202210875944.8 | 申请日: | 2022-07-25 |
公开(公告)号: | CN115360018B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 金魁;王旭;张劲松 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01G7/04 | 分类号: | H01G7/04;H01G7/06 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;杨思雨 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请公开了铁电电容器及其制造方法。该铁电电容器包括:衬底;位于所述衬底上的铁电薄膜;以及位于所述铁电薄膜上的第一电极和第二电极,所述第一电极和所述第二电极之间形成电极间隙,其中,所述铁电薄膜为具有水平组分梯度的组合膜。该铁电电容器利用组合膜的温度特性实现宽温域的温度稳定性。 | ||
搜索关键词: | 电容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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