[发明专利]载流子层制备方法、装置及装置控制方法

摘要

本申请提供了一种载流子层制备方法、装置以及装置控制方法，所述载流子层应用于光电器件，所述载流子层通过电泳沉积制备，所述方法包括：根据制备信号将待制备基体和参考基体从电泳沉积装置的电极浸入到目标悬浮液中；其中，所述待制备基体附着在所述电泳沉积装置的第一电极上，所述参考基体附着在所述电泳沉积装置的第二电极上；以及通过所述参考基体和设定沉积参数的控制将所述目标悬浮液中的溶质沉积到所述待制备基体，以在所述待制备基体上形成目标载流子层。本申请实施例通过将待制备基体浸入相应的目标悬浮液中，并在参考基体和设定沉积参数的控制下实现了电泳沉积方法制备载流子层。