[发明专利]一种多色Micro-LED显示器件的制作方法

摘要

本发明公开一种多色Micro‑LED显示器件的制作方法，属于基本电气元件的技术领域。本发明方法通过重复地对未图案化的不同颜色LED外延片进行晶圆级键合来制造Micro‑LED显示器件。由于LED外延片在键合前未被图形化为Micro‑LED阵列，因此工艺中对于对准的要求显著放宽。在Micro‑LED显示器件中，Micro‑LED阵列需要与包含基础衬底的驱动芯片集成。在该过程中，多种颜色LED阵列按如下方式制造：未图案化的LED外延片被键合在驱动芯片的表面上，之后去除LED的衬底并进行平坦化操作以允许下一层未图案化的LED外延片被键合，以此方法完成三层LED外延层的堆叠后，采用刻蚀的方法将三种不同颜色的LED外延层图形化成Micro‑LED阵列，再制作金属层完成电极连接。该方法可以提高Micro‑LED显示器件的制作效率。