[发明专利]一种碳碳埚托及其制备方法在审
申请号: | 202210871314.3 | 申请日: | 2022-07-22 |
公开(公告)号: | CN115231939A | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 吕磊;魏立博;杨荣清;段玉;霍红星;马兴波 | 申请(专利权)人: | 青岛晶易新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C04B35/83 | 分类号: | C04B35/83;C04B35/524 |
代理公司: | 青岛双合知识产权代理事务所(普通合伙) 37342 | 代理人: | 张明利 |
地址: | 266000 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种碳碳埚托及其制备方法。制备方法包括:利用预先制备的埚托预制体先后进行两次沉积得到埚托成品。本发明提供了一种制备碳碳埚托新的工艺,不仅大大降低了成本,而且沉积致密时间缩短,致密效率提高了2‑3倍。 | ||
搜索关键词: | 一种 碳碳埚托 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛晶易新材料科技股份有限公司,未经青岛晶易新材料科技股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202210871314.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。