[发明专利]一种全解耦三轴MEMS陀螺在审
| 申请号： | 202210854566.5 | 申请日： | 2022-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN115355898A | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 马昭;占瞻;杨珊;阚枭;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5656 | 分类号： | G01C19/5656 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 钟连发 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种全解耦MEMS陀螺，包括基底、弹性连接于所述基底的传感单元、以及与所述传感单元耦合并驱动所述传感单元运动的驱动单元，所述基底包括一个位于一矩形中心位置的耦合锚点以及弹性连接与所述耦合锚点的耦合结构；所述驱动单元包括四个分别位于所述矩形四个角内部位置的驱动件；所述传感单元包括两个对称设置于两个所述让位间隔内的X质量块、两个对称设置于另外两个所述让位间隔内的Y质量块、四个分别弹性连接于相邻所述驱动件且位于所述矩形四个角位置的Z质量块、以及四个分别弹性连接与相邻所述Z质量块且各自围绕矩形弹性连接的Z检测解耦件。本发明的陀螺为差分驱动，可以实现差分检测，降低正交误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全解耦三轴 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
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