[发明专利]一种半导体检测光路相对晶圆表面垂直的调节方法有效
| 申请号： | 202210847061.6 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115219426B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李明瑞;温任华 | 申请（专利权）人： | 魅杰光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人： | 黄贞君;黎飞鸿 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区中国(上海)*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体检测光路相对晶圆表面垂直的调节方法，包括：1：将晶圆固定在XYT运动台上，调整好检测光路，在所述检测光路上固定调整装置；2：采用所述检测光路，在晶圆上的至少三个点处分别进行聚焦；3：分别记录该至少三个点在聚焦系统Z轴位移台的Z值，根据各个点的Z值确定Z轴位移偏差，同时确定检测光路待调节位置和方向；4：根据确定的检测光路待调节位置和方向，以及Z轴位移偏差，通过微调所述调整装置，以调节所述检测光路，完成检测光路相对晶圆表面垂直的调节。本发明的调节方法能够达到极高的精度，稳定可靠，方法简单，且节约了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 相对 表面 垂直 调节 方法 | ||
【主权项】：
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