[发明专利]一种二硫化钽薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202210840038.4 | 申请日： | 2022-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN114988474A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 胡友根;邓富康;韦剑鸿;许亚东;万艳君;孙蓉 | 申请（专利权）人： | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
| 主分类号： | C01G35/00 | 分类号： | C01G35/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 孟洁 |
| 地址： | 518100 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本申请提供的二硫化钽薄膜的制备方法，将2H‑TaS |
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| 搜索关键词： | 一种 硫化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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