[发明专利]一种二硫化钽薄膜及其制备方法在审
申请号: | 202210840038.4 | 申请日: | 2022-07-18 |
公开(公告)号: | CN114988474A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 胡友根;邓富康;韦剑鸿;许亚东;万艳君;孙蓉 | 申请(专利权)人: | 深圳先进电子材料国际创新研究院 |
主分类号: | C01G35/00 | 分类号: | C01G35/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 孟洁 |
地址: | 518100 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硫化 薄膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:
配置不同浓度的TaS2水分散液,所述TaS2水分散液中TaS2为少层纳米片;
采用无机酸对BC或ANFs的水分散液进行质子化处理,再与不同浓度的所述TaS2水分散液混合,得到不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液;
将所述的不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液组装成TaS2/BC或TaS2/ANFs复合薄膜。
2.如权利要求1所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,在配置不同浓度的TaS2水分散液的步骤中,具体包括下述步骤:
采用碱金属离子或碱性溶剂对2H-TaS2进行插层处理,再高速离心去除多余的插层剂,然后在室温条件下采用机械分散方法将TaS2配置成均匀的TaS2水分散液。
3.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述高浓度碱金属离子包括Li+、Na+、K+离子,溶液为去离子水,浓度范围为1~2mol L-1;所述碱性溶剂包括正己胺或氨水。
4.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述插层处理的插层时间为6~12h,插层剂的体积为1~2mL,插层时需通入惰性气体。
5.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述高速离心的离心速度为8000~12000rpm,离心次数为3~5次,每次离心时间为10~30min,直至上清液pH为7,高速离心后的TaS2水分散液的浓度为1.25mg mL-1。
6.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述机械分散方法包括超声波分散、漩涡震荡分散或超声波加漩涡震荡复合分散;其中,所述超声波分散为在冰水浴中超声,功率为500W,时间为0.5~2h;所述漩涡震荡分散的档位为4~7档,时间为0.5~2h。
7.如权利要求1所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,在采用无机酸对BC或ANFs的水分散液进行质子化处理,再与不同浓度的所述TaS2水分散液混合,得到不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液的步骤中,所述无机酸包括硫酸、盐酸和硝酸,所述质子化处理后的浓度为0.01~1mol L-1,所述质子化处理的时间为0.5~2h。
8.如权利要求1所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,在将所述的不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液组装成TaS2/BC或TaS2/ANFs复合薄膜的步骤中,具体包括下述步骤:
将所述的不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液真空抽滤,再加入10~50mL去离子水,再将真空抽滤膜进行真空干燥最终获得TaS2/BC或TaS2/ANFs复合薄膜。
9.如权利要求8所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述真空抽滤膜选用混合纤维素滤膜或聚醚砜滤膜。
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