[发明专利]一种二硫化钽薄膜及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210840038.4 申请日: 2022-07-18
公开(公告)号: CN114988474A 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 胡友根;邓富康;韦剑鸿;许亚东;万艳君;孙蓉 申请(专利权)人: 深圳先进电子材料国际创新研究院
主分类号: C01G35/00 分类号: C01G35/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 孟洁
地址: 518100 广东省*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 硫化 薄膜 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:

配置不同浓度的TaS2水分散液,所述TaS2水分散液中TaS2为少层纳米片;

采用无机酸对BC或ANFs的水分散液进行质子化处理,再与不同浓度的所述TaS2水分散液混合,得到不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液;

将所述的不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液组装成TaS2/BC或TaS2/ANFs复合薄膜。

2.如权利要求1所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,在配置不同浓度的TaS2水分散液的步骤中,具体包括下述步骤:

采用碱金属离子或碱性溶剂对2H-TaS2进行插层处理,再高速离心去除多余的插层剂,然后在室温条件下采用机械分散方法将TaS2配置成均匀的TaS2水分散液。

3.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述高浓度碱金属离子包括Li+、Na+、K+离子,溶液为去离子水,浓度范围为1~2mol L-1;所述碱性溶剂包括正己胺或氨水。

4.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述插层处理的插层时间为6~12h,插层剂的体积为1~2mL,插层时需通入惰性气体。

5.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述高速离心的离心速度为8000~12000rpm,离心次数为3~5次,每次离心时间为10~30min,直至上清液pH为7,高速离心后的TaS2水分散液的浓度为1.25mg mL-1

6.如权利要求2所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述机械分散方法包括超声波分散、漩涡震荡分散或超声波加漩涡震荡复合分散;其中,所述超声波分散为在冰水浴中超声,功率为500W,时间为0.5~2h;所述漩涡震荡分散的档位为4~7档,时间为0.5~2h。

7.如权利要求1所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,在采用无机酸对BC或ANFs的水分散液进行质子化处理,再与不同浓度的所述TaS2水分散液混合,得到不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液的步骤中,所述无机酸包括硫酸、盐酸和硝酸,所述质子化处理后的浓度为0.01~1mol L-1,所述质子化处理的时间为0.5~2h。

8.如权利要求1所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,在将所述的不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液组装成TaS2/BC或TaS2/ANFs复合薄膜的步骤中,具体包括下述步骤:

将所述的不同质量比的TaS2/BC或TaS2/ANFs非均质聚集分散液真空抽滤,再加入10~50mL去离子水,再将真空抽滤膜进行真空干燥最终获得TaS2/BC或TaS2/ANFs复合薄膜。

9.如权利要求8所述的二硫化钽薄膜的制备方法,其特征在于,所述真空抽滤膜选用混合纤维素滤膜或聚醚砜滤膜。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳先进电子材料国际创新研究院,未经深圳先进电子材料国际创新研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202210840038.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top