[发明专利]一种太阳能电池选择性掺杂方法和制作方法

摘要

本申请公开了一种太阳能电池选择性掺杂方法和制作方法，涉及光伏领域。包括：在制绒的最后槽体中氧化硅片，以在硅片的表面形成氧化层；去除位于硅片正面的氧化层与正面栅线对应的区域，得到处理后硅片；对处理后硅片的正面进行扩散，以在对应氧化层的区域形成轻掺杂，在未对应氧化层的区域形成重掺杂，得到正面具有选择型掺杂结构的硅片。本申请在制绒的最后一道工序中氧化硅片，然后去除硅片正面氧化层对应正面栅线的区域，在扩散时氧化层具有阻挡作用，在硅片表面实现局部重掺杂。由于氧化硅片是在制绒的最后一道工序中进行，不需额外增加设备投入，所以只需增加去除硅片正面氧化层对应正面栅线的区域这道工序，简化工艺，节省设备投入。