[发明专利]靶材调节机构及其控制方法在审
| 申请号： | 202210819586.9 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN115181950A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 曹时义;赵世康;王俊锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰高科技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 王志 |
| 地址： | 523071 广东省东莞市厚*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种靶材调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，所述基座上设有第一通孔，所述第一通孔内滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有所述靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述阴极杆与所述基座滑动密封连接，所述阴极杆位于阳极筒外侧的另一端上还连接有流体驱动件，所述流体驱动件通过流体驱动以带动所述阴极杆移动。本发明通过在基座上设置流体驱动件以带动靶材沿着阴极杆的轴向运动，从而调节靶材在阳极筒中的位置，确保最佳烧蚀位点，实现靶材烧蚀的时时稳定，同时，避免了手动调节阴极杆，调节效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 调节 机构 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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