[发明专利]靶材调节机构及其控制方法

说明书

本发明公开一种靶材调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，所述基座上设有第一通孔，所述第一通孔内滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有所述靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述阴极杆与所述基座滑动密封连接，所述阴极杆位于阳极筒外侧的另一端上还连接有流体驱动件，所述流体驱动件通过流体驱动以带动所述阴极杆移动。本发明通过在基座上设置流体驱动件以带动靶材沿着阴极杆的轴向运动，从而调节靶材在阳极筒中的位置，确保最佳烧蚀位点，实现靶材烧蚀的时时稳定，同时，避免了手动调节阴极杆，调节效率更高。

技术领域

本发明涉及电弧镀膜设备领域，尤其涉及一种靶材调节机构及其控制方法。

背景技术

在当前设备上，阴极杆及其靶材位置固定，磁场位型由电磁场决定，一般对于某一工艺而言，其参数基本固定，这些硬件缺乏灵活性，在生产过程中，容易造成不良的影响：另外，现有弯管磁过滤技术应用于生产中，由于弯管外部电、磁场等基本参数可调范围有限，靶材烧蚀不能长时间稳定，特别是对于石墨靶材，经常发生灭弧，趋稳时间长；在固定外部线圈条件下，其磁力线位型固定，存在一定的磁场范围保障弧源稳定烧蚀，随着烧蚀时间增长，靶材高度越来越小，导致弧斑在靶面上的控制变弱，利用率不足50％，且换靶及维护次数及时间较长；弧源阴极烧蚀经常发生跑弧与引弧针发生短路，导致生产中断且易造成机械件烧融化，维修成本大大增加。

发明内容

本发明的目的在于提供一种靶材调节机构及其控制方法，以解决靶材烧蚀不稳定、利用率不高的问题。

为了实现上述目的，第一方面，本发明提供的一种靶材调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，所述基座上设有第一通孔，所述第一通孔内滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有所述靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述阴极杆与所述基座滑动密封连接，所述阴极杆位于阳极筒外侧的另一端上还连接有流体驱动件，所述流体驱动件通过流体驱动以带动所述阴极杆移动。

优选地，所述流体驱动件为气动装置，所述气动装置包括围绕阴极杆设置的外壳，所述阴极杆穿设于所述外壳中，所述外壳内设有移动板，所述移动板的中部开设第二通孔，所述阴极杆穿设于所述第二通孔中并与所述移动板密封固定连接，所述移动板的周壁与所述外壳的内壁密封连接以与外壳的底壁形成第一空腔；所述气动装置还包括进气通道和出气通道，所述进气通道和出气通道均与所述第一空腔连通，所述进气通道和出气通道上还设有阀门以控制进气通道进气或出气通道出气。

优选地，所述阀门为电磁阀，所述电磁阀电性连接控制器，所述控制器用于控制电磁阀以控制进气通道或出气通道的气量。

优选地，所述外壳内还设有位于所述移动板上方的调压板，所述调压板的中部开设第三通孔，所述阴极杆穿设于所述第三通孔中并与所述调压板密封滑动连接，所述调压板的周壁与所述外壳密封连接，所述调压板与所述移动板之间形成第二空腔，所述第二空腔内预填充有压缩气体，所述外壳的顶壁上设有调节螺栓，所述调节螺栓抵压于所述调压板上，所述调节螺栓用于调节所述调压板的位置并固定所述调压板。

优选地，所述外壳的侧壁上还设有进气口和出气口，所述进气通道和出气通道分别通过进气口和出气口与所述第一空腔连通，所述外壳的内壁上还设置有朝向阴极杆延伸的限位凸起，所述限位凸起位于进气口和出气口的上方且位于所述移动板的下方。

优选地，所述气动装置还包括密封件，所述密封件的上部与所述移动板连接，所述密封件的下部延伸进基座的第一通孔中，所述密封件位于第一通孔中的长度大于移动板的最大移动行程，所述阴极杆穿设于所述密封件中以使得所述基座与所述阴极杆形成滑动密封连接。