[发明专利]靶材调节机构及其控制方法

权利要求书

1.一种靶材调节机构，包括中空的阳极筒以及安装于所述阳极筒一端的基座，其特征在于：所述基座上设有第一通孔，所述第一通孔内滑动安装有阴极杆，所述阴极杆的一端位于阳极筒的内侧且安装有所述靶材，所述阴极杆的另一端位于阳极筒的外侧，所述阴极杆与所述基座滑动密封连接，所述阴极杆位于阳极筒外侧的另一端上还连接有流体驱动件，所述流体驱动件通过流体驱动以带动所述阴极杆移动。

2.如权利要求1所述的靶材调节机构，其特征在于：所述流体驱动件为气动装置，所述气动装置包括围绕阴极杆设置的外壳，所述阴极杆穿设于所述外壳中，所述外壳内设有移动板，所述移动板的中部开设第二通孔，所述阴极杆穿设于所述第二通孔中并与所述移动板密封固定连接，所述移动板的周壁与所述外壳的内壁密封连接以与外壳的底壁形成第一空腔；所述气动装置还包括进气通道和出气通道，所述进气通道和出气通道均与所述第一空腔连通，所述进气通道和出气通道上还设有阀门以控制进气通道进气或出气通道出气。

3.如权利要求2所述的靶材调节机构，其特征在于：所述阀门为电磁阀，所述电磁阀电性连接控制器，所述控制器用于控制电磁阀以控制进气通道或出气通道的气量。

4.如权利要求2所述的靶材调节机构，其特征在于：所述外壳内还设有位于所述移动板上方的调压板，所述调压板的中部开设第三通孔，所述阴极杆穿设于所述第三通孔中并与所述调压板密封滑动连接，所述调压板的周壁与所述外壳密封连接，所述调压板与所述移动板之间形成第二空腔，所述第二空腔内预填充有压缩气体，所述外壳的顶壁上设有调节螺栓，所述调节螺栓抵压于所述调压板上，所述调节螺栓用于调节所述调压板的位置并固定所述调压板。

5.如权利要求2所述的靶材调节机构，其特征在于：所述外壳的侧壁上还设有进气口和出气口，所述进气通道和出气通道分别通过进气口和出气口与所述第一空腔连通，所述外壳的内壁上还设置有朝向阴极杆延伸的限位凸起，所述限位凸起位于进气口和出气口的上方且位于所述移动板的下方。

6.如权利要求2所述的靶材调节机构，其特征在于：所述气动装置还包括密封件，所述密封件的上部与所述移动板连接，所述密封件的下部延伸进基座的第一通孔中，所述密封件位于第一通孔中的长度大于移动板的最大移动行程，所述阴极杆穿设于所述密封件中以使得所述基座与所述阴极杆形成滑动密封连接。

7.如权利要求1所述的靶材调节机构，其特征在于：所述靶材调节机构还包括真空磁流体密封装置，所述真空磁流体密封装置包括密封座体以及凸设于所述密封座体上的磁流体密封部，所述磁流体密封部包括中空的密封壳体以及安装于所述密封壳体内部的永磁体、极靴和磁流体，所述永磁体为至少一个，所述永磁体和极靴均安装在所述密封壳体的内侧壁上，所述永磁体在阴极杆的轴向方向上的两侧分别设有所述极靴，所述极靴朝向阴极杆的一侧设有磁液槽，所述磁液槽上设有磁流体，所述永磁体、极靴的中部设有密封通孔，所述阴极杆穿设于所述密封通孔中，所述磁流体密封部设于所述密封座体的下部，所述密封座体安装于基座朝向外侧的一侧上，所述磁流体密封部嵌设于所述基座内并向下延伸进阳极筒的内部。

8.如权利要求1所述的靶材调节机构，其特征在于：所述流体驱动件为气动装置为一气缸，所述气缸包括一活塞杆，所述活塞杆连接所述阴极杆以带动所述阴极杆移动。

9.一种靶材调节机构的控制方法，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的靶材调节机构，所述控制方法包括如下步骤：

确定所述流体驱动件中通入流体的流量与靶材位置的关系式；

根据所述关系式调节通入流体驱动件的流量以调节靶材的位置。

10.如权利要求9所述的靶材调节机构的控制方法，其特征在于，所述靶材调节机构还包括控制器，所述控制方法还包括：

将流量与靶材位置的关系式预设于所述控制器中；

将靶材位置与烧蚀时间的关系式也预设于所述控制器中；

通过所述控制器实时控制通入流体驱动件的流量以控制所述靶材的位置。