[发明专利]一种化学机械抛光垫及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210813035.1 | 申请日： | 2022-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN115946039A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 相红旗;陈浩聪;姚力军 | 申请（专利权）人： | 宁波赢伟泰科新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/24 | 分类号： | B24B37/24;B24B37/26;B24D18/00;B29D7/01;C09G1/02 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 安栎 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械抛光垫的制备方法，通过聚氨酯浆料涂布于透明薄膜卷材上，通过凝结成膜法获得多孔聚氨酯膜，再经碱溶液降解其中的含酯键的聚合物粉末以形成占据式的微孔洞，最终经后处理制备得到化学机械抛光垫。通过将含酯键的聚合物、极性溶剂、阴离子物质、聚氨酯树脂混合得到聚氨酯浆料涂布于基材上，在凝结成膜的过程中，水致相分离形成水滴形孔的同时含酯键的聚合物在聚氨酯内部占据了空间一起凝固定型，再通过碱溶液浸泡降解此粉末，洗脱后就可以在聚氨酯固体相内形成微孔，使抛光垫的微观力学结构更加均衡，对待抛光物的支撑力都更加均匀，抛光液可以在这些微孔洞中相互流通，使抛光液的供给也更加均匀稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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