[发明专利]成膜装置、成膜方法及蒸发源在审
| 申请号： | 202210801585.1 | 申请日： | 2022-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN115700292A | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 田村博之;菅原由季;佐藤快度 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04;H10K71/16;H10K71/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种抑制蒸发源的大型化的成膜装置、成膜方法及蒸发源。成膜装置使蒸镀物质气化而在基板上进行成膜。容器形成收容蒸镀物质的收容空间及供气化的蒸镀物质扩散的扩散空间。板状构件在容器的内部分隔收容空间与扩散空间，并形成有供气化的蒸镀物质通过的开口。伸出部包围开口，从板状构件伸出。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 蒸发 | ||
【主权项】：
暂无信息
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