[发明专利]抑制光谱串音的二类超晶格双色红外焦平面探测器芯片

摘要

本发明公开了一种抑制光谱串音的二类超晶格双色红外焦平面探测器芯片，包括：衬底，其上采用分子束外延法制备有超晶格外延结构，其中所述超晶格外延结构为垂直的双色叠层背靠背NPN结构或PNP结构，其远离双色叠层结构的一面设置有具有对应双色透过特性的多层增透膜；双色叠层结构，其垂直外延生长在所述衬底上，且其波长短的一侧通道中的本征吸收层的厚度大于波长长的一侧通道中的本征吸收层的厚度。本申请实施例的外延结构有效抑制了长波向中波的光谱串音，并且保证探测器的量子效率和探测性能。