[发明专利]一种电子传输层的制备方法、电子传输层及太阳能电池

摘要

本发明公开了一种电子传输层的制备方法、电子传输层及太阳能电池，电子传输层的制备方法包括：设置衬底；在衬底上采用电子束蒸发法沉积形成TiOx电子传输层。本发明通过电子束蒸发法制备高质量的电子传输层，需要的设备简单且成本低，能够沉积形成致密的TiOx薄膜，薄膜均匀性提高，由其作为电子传输层的钙钛矿太阳能电池器件效率得到提高，并且器件稳定性提高，制备工艺具有优异的可重复性，适合大批量商业化生产。