[发明专利]驱动基板的制备方法在审
| 申请号： | 202210792254.6 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115079524A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 汤帅;李烨操 | 申请（专利权）人： | 苏州华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例公开了一种驱动基板的制备方法，本申请实施例的驱动基板的制备方法在拼接曝光过程中，同层设置的第一曝光层和第二曝光层重叠形成第一拼接区域，并将第一基准标尺、第二基准标尺以及和第三基准标尺均设置在第一拼接区域外侧，且第一基准标尺、第二基准标尺以及和第三基准标尺均是由单次曝光形成，以有效避免因多次曝光而导致基准标尺本身存在误差的影响。而后续同层设置的第三曝光层和第四曝光层在曝光对位中均会使用第二基准标尺进行对位，如此通过在曝光同层时采用同一组基准标尺，如此有效避免了因采用不同基准标尺而导致位置偏差的影响。进而在曝光工艺制程中，提升第二层重叠曝光区域的对位性能，改善重叠曝光区的拼接精度。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 制备 方法 | ||
【主权项】：
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