[发明专利]一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统在审
| 申请号： | 202210787309.4 | 申请日： | 2022-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN114995296A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 俞乾;张秀川;尉东光;于潇;顾国刚;张金鑫;刘宁 | 申请（专利权）人： | 苏州国科医工科技发展（集团）有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/414 | 分类号： | G05B19/414 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 黄雁君 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多轴样品台闭环控制方法、存储介质及系统，该方法包括如下步骤：接收上位机下发的指令，解析指令，根据指令解析结果进行运动规划，确定每一轴电机的运动参数；接收并处理所有单轴驱动模块上传的电机运动参数和单轴电机的实时位置，将处理结果上传至上位机；通过位置传感器系统误差标定，导轨误差标定进行运动校正。本发明采用容栅传感器作为位置传感器，与开环控制的多轴样品台相比，可以提高系统的可靠性与控制精度，而系统的成本提高也有限，有利于大规模应用。通过样品台每一轴运动时的位置反馈，补偿由导轨直线度和平行度造成的位置误差，使样品实现更高的位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 样品 闭环控制 方法 存储 介质 系统 | ||
【主权项】：
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