[发明专利]反应装置及半导体废气处理系统在审
| 申请号： | 202210771346.6 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115212820A | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王松 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;F28D15/02;F28F1/30 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 赵娜 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体废气处理技术领域，尤其涉及一种反应装置及半导体废气处理系统，反应装置包括反应器和换热器，反应器设有制程气体进口以及与制程气体进口连通的第一腔体，换热器包括壳体以及设置于壳体内部的换热部，壳体为环状，壳体的内周面外壁围设出与第一腔体连通的第二腔体，壳体还设有与换热部连通的换热介质的第一进口与第一出口，第一出口与制程气体进口连通。利用制程气体反应产生的热量，流经换热器进行热能潜热回收后，用于对未进入反应装置的制程气体进行预热的能源，达到了节能的目的。即利用反应装置中高温且持续性的热量，进行回收再利用，代替设备中的其它独立加热部件，进而达到节省电能消耗的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 装置 半导体 废气 处理 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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