[发明专利]一种电池片浸泡式去膜方法及装置在审
| 申请号： | 202210761929.0 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115083966A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 姚宇;李中天;黄勇 | 申请（专利权）人： | 苏州太阳井新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陈婷婷 |
| 地址： | 215127 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电池片浸泡式去膜方法及装置，所述去膜方法包括如下步骤：将电池片固定地置放在载具中；将载有电池片的载具浸泡在去膜液中；采用喷流、鼓泡及顶部溢流中的一种方式或其中两种以上方式的结合，去除附着在所述电池片上的掩膜。采用该去膜方法可以快速高效地去除电池片上的掩膜，去除掩膜的过程中电池片被固定置放在载具上并与去膜液进行接触反应，有效地去除了电池片上的掩膜，使得电池片保持洁净。在去膜的过程中也仅需传输载具即可对电池片予以传输，避免了电池片在去膜过程中造成的产生隐裂、碎片或划伤等风险，提升了电池片的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电池 浸泡 式去膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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