[发明专利]一种利用膜状扩散源制造太阳能发电基片的方法

摘要

本发明属于太阳能电池片生产技术领域，具体涉及一种利用膜状扩散源制造太阳能发电基片的方法，包括绒面制备、扩散前清洗和扩散；所述扩散过程包括：步骤一选择相同或不同的半导体膜状扩散源，所述半导体膜状扩散源包括磷纸源和硼纸源；步骤二将半导体膜状扩散源切割成与硅片扩散区相同的尺寸和形状；步骤三把已表面处理后的硅片与半导体膜状扩散源进行叠片；步骤四将叠片装入扩散舟，然后将扩散舟放入扩散炉内进行扩散操作；与现有技术相比，本发明申请的积极效果在于：改变了现有的硅基高效太阳能发电基片制造PN结还在延续原来的气态源或者液态源扩散方式的现状；克服了硅片扩散过程中生产效率低、制造工艺繁琐的不利问题。