[发明专利]过滤阴极电弧法制备TiO2 在审
| 申请号： | 202210758410.7 | 申请日： | 2022-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN115125494A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 姚建可;唐杰;汤皎宁;钟文森 | 申请（专利权）人： | 蓝湖光电（惠州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/08;H01L29/49 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 刘勋 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市惠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种过滤阴极电弧法制备TiO |
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| 搜索关键词： | 过滤 阴极 电弧 法制 tio base sub | ||
【主权项】：
暂无信息
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