[发明专利]一种可精确调控干涉臂相位的MZI型光开关及制备方法有效
| 申请号： | 202210754402.5 | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN114815330B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 李朝晖;陈鸿飞;傅志豪 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/01 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 王晓玲 |
| 地址： | 510006 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种可精确调控干涉臂相位的MZI型光开关及制备方法；其中，输入区波导的输出端与第一分光器输入端连接，第一分光器的输出端分别与两个输入区S弯曲波导输入端连接，两个输入区S弯曲波导的输出端分别与第一相移区和第二相移区的输入端连接，第一相移区和第二相移区的输出端分别与两个输出区S弯曲波导的输入端连接，两个输出区S弯曲波导的输出端均与第二分光器的输入端连接，第二分光器的输出端与输出区波导的输入端连接，以上波导均设在相变材料薄膜上。本发明制备工艺简单，开光效果更好，且可以实现快速高效的开光转换，还能实现开光结构的重构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确 调控 干涉 相位 mzi 开关 制备 方法 | ||
【主权项】：
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