[发明专利]一种正性感光聚苯并恶唑树脂组合物、制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202210732884.4 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN115047715A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 赵佳俊;王解兵 | 申请（专利权）人： | 南通晶爱微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市开发区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种正性感光聚苯并恶唑树脂组合物、制备方法及其应用，由以下重量份的成分组成：100重量份的芳香含硅聚苯并恶唑前驱体聚合物、1‑50重量份的感光剂、80‑800重量份的溶剂和添加剂组成；经过涂布、前烘、曝光、显影和热固化步骤，完成正性感光聚苯并恶唑树脂组合物的应用；本发明中的芳香含硅聚苯并恶唑前驱体聚合物由芳香含硅结构的二酸及其酰卤化物通过公知的方法与含羟基二胺缩聚获得，芳香含硅结构的引入可以改善聚合物分子链的柔顺性，降低刚性，其中的硅氧结构又对硅、玻璃、ITO等衬底具有很好的亲和性，从而提高了聚苯并恶唑薄膜与衬底之间的粘结性能，使之可以耐受热环化过程的高温以及复杂使用环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 性感 光聚苯 树脂 组合 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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