[发明专利]单晶纳米线偏振光探测器的制备方法在审

专利信息
申请号: 202210729763.4 申请日: 2022-06-24
公开(公告)号: CN115132879A 公开(公告)日: 2022-09-30
发明(设计)人: 杨珏晗;杨文;邓惠雄;文宏玉;魏钟鸣 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0352;H01L31/032
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种单晶纳米线偏振光探测器的制备方法,包括:生长锑铋硫单晶材料;剥离锑铋硫单晶材料,将锑铋硫单晶材料剥离成锑铋硫单晶纳米线并转移至衬底上;在锑铋硫单晶纳米线两端制备电极,得到单晶纳米线偏振光探测器。本发明将具有各向异性的锑铋硫单晶纳米线作为偏振光探测元件,由于锑铋硫单晶纳米线的各向异性,对不同方向的线偏振光具有不同的吸收特性,锑铋硫单晶纳米线自身就能够对线偏振光进行探测,无需额外的光学元件,使光探测器的结构更加简单。
搜索关键词: 纳米 偏振光 探测器 制备 方法
【主权项】:
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