[发明专利]分散树脂及其制备方法和光阻剂组合物在审
| 申请号： | 202210729269.8 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN115057962A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 钟美弟;陈宇龙;运向军;李伟;任广辅;杨霞 | 申请（专利权）人： | 深圳市邦得凌半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/30 | 分类号： | C08F220/30;C08F220/06;C08F212/08;C08F220/14;C08F220/18;C08F2/38;C08F8/34;C09D17/00;G03F7/004;G02B5/20 |
| 代理公司： | 苏州领跃知识产权代理有限公司 32370 | 代理人： | 王宁 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明提供一种分散树脂及其制备方法和低温固化的光阻剂组合物，分散树脂由式(2)表示：(Z‑A) |
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| 搜索关键词： | 分散 树脂 及其 制备 方法 光阻剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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